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곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치

Device compensating concave wavefront deformation of a membrane deformable mirror using a curvature adjustable mirror
  • 작성자 : KASI
  • 작성일 : 2014-04-29
  • 조회수 : 1801
  • IPC CODEG02B 5/08, G02B 26/06
  • 구분국내 특허등록
  • 출원/등록번호10-08828320000
  • 출원일2007.10.31
  • 등록일2009.02.03
  • 출원인한국천문연구원
  • 발명자나자경
  • 초록

     

    본 발명은 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치에 관한 것으로서, 파면보상장치로 사용되는 박막변형거울의 음의 곡률 변형을 양의 곡률 조절이 가능한 곡률조절거울을 사용하여 보상하는 시스템을 제공하는 것이다.

    본 발명은 박막변형거울의 파면 보정장치에 있어서, 관측 대상으로부터 전달된 빛의 방향을 곡률조절거울측으로 전환하는 반사체와; 상기 반사체를 통해 전달된 빛의 방향을 박막변형거울측으로 전환함과 동시에 곡률 조절기능을 통해 박막변형거울에서의 오목 변형을 보정하는 곡률조절거울과; 상기 곡률조절거울을 통해 전달된 빛의 왜곡된 파면을 상쇄시켜 관측장비로 전달하는 것으로, 내측에는 거울역할의 얇은 박막이 구비되며 전기력에 의해 박막의 형태를 변형시키는 박막변형거울과; 상기 박막변형거울에서 박막의 형태를 변형시키기 위해 바이어스 전압 및 제어 전압을 인가하는 컨트롤러;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.




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