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PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법

THE METHOD FOR MANUFACTURING MICROMIRROR HAVING SLOPING ELECTRODE USING PDMS
  • 작성자 : KASI
  • 작성일 : 2014-04-30
  • 조회수 : 1995
  • IPC CODEG02B 26/08, B81C 1/00
  • 구분국내 특허등록
  • 출원/등록번호10-09214340000
  • 출원일2008.12.15
  • 등록일2009.10.06
  • 출원인이화여자대학교 산학협력단
  • 발명자박일흥, 박재형, 김용권, 유병욱, 진주영
  • 초록

    본 발명은 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 마이크로미러 제작 방법에 있어서, (1) 상측을 향하여 경사지며, 중심부가 소정 거리 이격되어 마주보게 배치되도록 몰드(mold)를 패터닝(patterning)하는 단계, (2) 상기 패터닝된 몰드에 PDMS(poly dimethyl siloxane stamp)를 투입하여 경화시키는 단계, (3) 경사진 바닥 전극을 형성하기 위하여 상기 경화된 PDMS를 상기 패터닝된 몰드로부터 분리하는 단계, (4) 상기 경사진 바닥 전극이 형성된 PDMS에 금속 막을 증착하는 단계, (5) 상기 PDMS 상측으로 이격된 위치에 상기 PDMS와의 전압 차에 따른 정전력을 형성하기 위한 실리콘 기판을 결합하여 가공하는 단계, (6) 상기 가공된 실리콘 기판에 알루미늄을 증착하고 패터닝하는 단계, 및 (7) 상기 패터닝된 알루미늄을 마스크로 하여 상기 실리콘 기판을 식각(etching)하는 단계를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.


    본 발명의 PDMS를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법에 따르면, 바닥 전극의 형태를 PDMS를 이용하여 경사진 구조로 형성함으로써 구동전압이 감소하고, 바닥 전극과의 간격을 구동전압의 상승 없이 증가시킬 수 있게 함으로써 제어가 가능한 구동각도의 범위를 크게 키울 수 있는 마이크로미러를 제작할 수 있다. 뿐만 아니라, 구동전압의 상승 없이 마이크로미러 스프링의 강도를 증가시켜 복원력을 키울 수 있게 됨으로써 마이크로미러가 바닥에 점착되는 현상을 현저히 줄일 수 있음과 동시에 외부 충격 및 진동에도 더 강인한 마이크로 미러를 구현할 수 있다. 또한, 경사진 바닥 전극의 형태를 1축 구동 마이크로미러뿐만 아니라 2축 구동이 가능한 마이크로미러에 적합하게 제작할 수 있게 됨으로써 평판 전극을 이용한 정전력 구동 마이크로미러에 비하여 제어 가능한 구동각도를 증가시키는 동시에 마이크로미러의 구동에 필요한 인가전압을 줄일 수 있다.


     


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