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천문우주과학 연구동향

천문우주과학과 관련된 국내외 상위 학술논문 및 특허 정보를 제공해 드립니다.

마그네트론 스퍼터링 장치

Magnetron sputtering apparatus
  • 작성자 : KASI
  • 작성일 : 2014-05-19
  • 조회수 : 2365
  • IPC CODEH01L 21/203
  • 구분국내 특허등록
  • 출원/등록번호10-10020520000
  • 출원일2008.07.18
  • 등록일2010.12.10
  • 출원인포항공과대학교 산학협력단
  • 발명자유창모
  • 초록

    본 발명은 마그네트론 스퍼터링 장치를 제공한다. 본 발명은 반응기 내에 위치하는 기판과, 반응기 내에서 기판에 대향하여 위치하는 타겟과, 타겟의 아래에 위치하고 타겟의 후면 전체에 대응하여 설치되는 회전 자석 셀 블록을 포함한다. 본 발명의 회전 자석 셀 블록은 가로 및 세로 방향의 매트릭스로 배열되는 복수개의 단위 회전 자석 셀 블록들을 포함하고, 단위 회전 자석 셀 블록은 지지부와, 지지부에 설치된 복수개의 회전 수단들과, 회전 수단들과 각각 연결된 복수개의 회전 자석 셀들을 포함하고, 단위 회전 자석 셀 블록에 포함되는 복수개의 회전 자석 셀들은 독립적으로 상기 타겟에 대하여 평행하게 회전할 수 있다. 

    

     


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